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适用范围广：适用3-6寸芯片
显定影喷头控制精确：≤0.2mm
旋转速度控制精确：最高转速6000rpm，加速度可在0-5000rpm/sec范围内调节，转速
精准度≤1-4%
涂布均匀性好：片内≤0.04μm，片间≤0.08μm
设备可靠性高：MWBF（平均故障间隔）≥10000片
自动显定影机
上海微世半导体有限公司
晶圆激光切割机、划片机、LPCVD、自动显定影机
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自动显定影机
详细信息 自动匀胶机，采用进口旋转马达，通过精准定位系统，辅以皮带传送，实现显影的自动显定影。旋转速度达6000rpm，无故障加工片数多达10000片以上。自动显影具有加工速度快，显影效果好，节省显影液等特点。设备具有操作简单，维护量小等特点。
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