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光催化法是近些年被开发出来的一种新型的废气处理技术，其原理是在催收设备内，高能紫外线光束与空气、TiO2反应产生的臭氧、·OH(羟基自由基)对恶臭有机气体进行协同分解氧化反应，同时大分子有机气体在紫外线作用下使其链结构断裂，使恶臭有机气体物质转化为无臭味的低分子化合物或者完全氧化，生成水和CO2，整个分解氧化过程在1秒内完成。其反应过程如下：
TiO2 + hv → h+ +e- （1） | h+ +e- → 热能 （2） |
h+ + OH- →·OH （3） | h+ + H2O →·OH + H+ （4） |
e- +O2 → O2- （5） | O2 + H+ → HO2· （6） |
2 H2O·→ O2 +H2O2 （7） | H2O2 + O2 →·OH + H+ O2 （8） |
·OH+dye→···→CO2+H2O （9） | H+ + dye →···→ CO2 + H2O (10) |
图3-3 光催化设备工艺原理图解
由图可知，光催化法只消耗电能，塔内的高能紫外线光束与空气、TiO2反应产生的臭氧、·OH(羟基自由基)对恶臭有机气体进行协同降解反应，可有效将其分解为CO2和H2O后排放到空气中，既达标排放，也消除了气体的恶臭。
适用范围：
光催化适用于炼油厂、橡胶厂、皮革厂、印刷厂、化工厂、制药厂、金属铸造厂、塑料再生厂、喷涂溶剂等有机和无机物恶臭气体的脱臭净化处理；喷漆(涂)车间、化工、医药、橡胶、食品、印染、造纸、酿造等生产过程中产生的有毒有害废气也可使用光催化处理。